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薄膜厚度的测量方法都有哪些

更新时间:2024-11-19      点击次数:139
薄膜厚度的测量方法有很多:
按照测量的方式分可以分为两类:直接测量和间接测量。直接测量指应用测量仪器,通过接触(或光接触)直接感应出薄膜的厚度,常见的直接法测量有:螺旋测微法、精密轮廓扫描法(台阶法)、扫描电子显微法(SEM);间接测量指根据一定对应的物理关系,将相关的物理量经过计算转化为薄膜的厚度,从而达到测量薄膜厚度的目的。常见的间接法测量有:称量法、电容法、电阻法、等厚干涉法、变角干涉法、椭圆偏振法。
按照测量的原理可分为三类:称量法、电学法、光学法。常见的称量法有:天平法、石英法、原子数测定法;常见的电学法有:电阻法、电容法、涡流法;常见的光学方法有:等厚干涉法、变角干涉法、光吸收法、椭圆偏振法。
TF200薄膜厚度测量系统利用薄膜干涉光学原理,对薄膜进行厚度测量及分析。用从深紫外到近红外可选配的宽光谱光源照射薄膜表面,探头同位接收反射光线。应用领域:
半导体(SiO2/SiNx、光刻胶、MEMS,SOI等)
LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亚酰胺ITO等)
LED (SiO2、光刻胶ITO等)
触摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率测试等)
汽车(防雾层、Hard Coating DLC等)
医学(聚对二甲苯涂层球囊/导尿管壁厚药膜等)
 
 
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